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簡要描述:LSxx.Lab 系列壓電光學位移臺,光學傳感,兼容無磁高真空,納米級位置傳感。真正的納米精度位移臺:步進運動和超精細·位置實時調(diào)節(jié)的深度融合– 無磁材料構(gòu)成,保證30 Tesla 磁場可用 .NM– 超高真空兼容材料構(gòu)成,保證 2E-11 mbar 兼容 .UHV
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ARTICLES詳細介紹
LSxx.Lab 系列·線性位移臺
• 超安靜運動,20 kHz驅(qū)動頻率
• 極緊湊外形設計,分為35mm和 65mm 兩類
• 閉環(huán)控制·位置傳感支持光學型
• 高精度·空間傳感分辨率2 nm(默認), 0.5 nm(.adv), 50 nm(.E)可選;
• 最小步伐優(yōu)于 10 nm;
• 可提供多軸堆疊安裝轉(zhuǎn)接件;
• 控制器兼容旋轉(zhuǎn)臺,搖擺臺;
• 支持無磁(.NM), 高真空(.HV)和超高真空(.UHV)選件;
LS35x.Lab 兼顧尺寸和性能的選擇 35mm × 35mm × 12mm
LS65x.Lab 手動·光學位移臺的替代 65mm × 65mm × 13mm
LS35z.Lab z方向500 g, 能負重&能遠行 35mm × 35mm × 41mm
LS65z.Lab z方向500 g, 直驅(qū)垂直運動,低厚度,省空間 65mm × 65mm × 44mm
壓電線性位移臺,光學傳感,兼容無磁高真空——詳細參數(shù):
LS35x.Lab
LS65x.Lab
LS35z.Lab
LS65z.Lab
壓電線性位移臺,光學傳感,兼容無磁高真空——尺寸圖:
LS35x.Lab
LS65x.Lab
LS35z.Lab
LS65z.Lab
LS65z.Lab.LR
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