壓電·大范圍掃描運(yùn)動 Carrier.OB100HL.C

? 針對顯微物鏡的大負(fù)載、高動態(tài)、緊湊型解決方案，用于顯微成像、自動對焦等應(yīng)用

• Z 方向運(yùn)動范圍 100 um；

• 最快穩(wěn)定時間(90%位置穩(wěn)定)10 ms以內(nèi)；

• 閉環(huán)定位精度優(yōu)于 1 nm；

• 最大負(fù)載 2 kg；

• 控制器兼容多場科技MC-Archimedes Series；

• ?持無磁 (.NM) , 高真空 (.HV) 和超高真空(.UHV)選件升級；

壓電掃描臺，物鏡型高負(fù)載，兼容無磁高真空——詳細(xì)參數(shù)：

壓電掃描臺，物鏡型高負(fù)載，兼容無磁高真空——尺寸圖：

多場科技“壓電掃描臺·物鏡型”解決方案Carrier.OB.系列主要針對精密光學(xué)，半導(dǎo)體表征等應(yīng)用場景，核心特點(diǎn)包括：

• Z方向單一運(yùn)動方向，行程覆蓋50, 100 & 400 um

• 快速運(yùn)動穩(wěn)定，10 ms內(nèi)完成

• 支持高負(fù)載物鏡選項(xiàng)；提供多種物鏡轉(zhuǎn)接接口

• 支持第三方軟、硬件控制，實(shí)現(xiàn)自動對焦

• 支持電容(.C) 位置傳感

• 最高分辨率達(dá)到0.2 nm

• 支持無磁 (.NM), 高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 選件升級

• 控制器兼容多場科技 Motion Controller - Archimedes Series