簡要描述:Mirrors.Z12TxTy0101,壓電位移臺快反鏡,3自由度調節(jié),高速擺鏡;3自由度調節(jié)偏轉,用于鏡片轉動和光路調節(jié)等應用場景
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壓電·鏡片偏擺臺 Mirrors.Z12TxTy0101
? 3自由度調節(jié),通孔型搖擺臺,毫秒級運動響應,高分辨率解決方案
• 并聯(lián)結構設計保證三自由度調節(jié);
• 直徑10 mm 通孔;
• 最大行程 12 μm;
• ms級響應;
• 主體材料:鋁合金 & 不銹鋼;
• 最高精度μrad級別;
• 控制器 MC – Archimedes.N3S;
• 閉環(huán)傳感器:SGS;
• 支持無磁 (.NM), 高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 選件升級;
壓電位移臺快反鏡,3自由度調節(jié),高速擺鏡——詳細參數:
壓電位移臺快反鏡,3自由度調節(jié),高速擺鏡——尺寸圖:
多場科技Mirrors高速擺鏡系列實現(xiàn)單軸/雙軸/三軸全運動行程,高動態(tài)鏡片運動控制,閉環(huán)操作;支持多自由度運動,支持無磁,高真空兼容版本;也提供大行程鏡片運動控制
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