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壓電掃描臺(tái)是一種利用壓電效應(yīng)實(shí)現(xiàn)精密運(yùn)動(dòng)和定位的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于光學(xué)、納米技術(shù)、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。1.基本原理壓電效應(yīng)是指在某些晶體(如石英、鋯鈦酸鉛等)中,施加機(jī)械力會(huì)產(chǎn)生電荷分離的現(xiàn)象。這種效應(yīng)的特點(diǎn)是反映在晶體的尺寸上,即施加機(jī)械應(yīng)力后,晶體的尺寸會(huì)發(fā)生微小的變化。利用這一特性,可以將壓電材料應(yīng)用于制作壓電器件,如壓電陶瓷等。2.結(jié)構(gòu)組成典型的壓電掃描臺(tái)由以下幾個(gè)部分組成:壓電驅(qū)動(dòng)器:通常由壓電陶瓷制成,用于轉(zhuǎn)換電能為機(jī)械能。導(dǎo)軌系統(tǒng):用于支撐和引導(dǎo)壓電掃描臺(tái)的運(yùn)動(dòng)。傳感...